纳米制造,测量先行。研制高精度的纳米级标准物质,是打造高准确度纳米测量传递链,提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。标准物质研制单位同济大学相关专家介绍,二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术,制备难度较大,可直接溯源到自然界量子化物理常数(铬原子跃迁频率),角度绝对准确性在0.001°量级,相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm,在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准,也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。
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作者: 莘妍雁 2024年10月09日 04:1153.35MB
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网友评论更多
135颜翠冠i
高中生疯狂啃量子物理方面的书,影响了学习,但是大学没有学习这方面的打算,又超级感兴趣怎么办?✻💉
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4473庞庆忠140
《每周质量报告》 20240428 老旧电梯之困♸⛖
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87宗平启vu
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